équipement de déposition en phase vapeur

garinio nusodinimo įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. vapor deposition equipment vok. Bedampfungsanlage, f rus. установка осаждения из паровой фазы, f pranc. équipement de déposition en phase vapeur, m

Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. . 2000.

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